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Chapter239 电子束光刻(2 / 2)

速度慢了下来,同时行星推进器也因此出现了几次故障。

“指挥官,电子束光刻机的样机刚刚生产组装完成了!请您到实验室验收!”

原初通知布一楠一条新的信息,布一楠顿时放下手里的事情向着实验室走去。

电子束光刻机是继0.1纳米的光刻机之后曙光号研究的新一代产品。

电子束光刻(Electron Beam Lithography, EBL)是利用X射线进行光刻的一种光电子设备。

其采用的尺度小于纳米,属于皮米(1皮米=0.001纳米)尺度。

这个技术能够实现更高的分辨率,从而满足更小尺寸的制程需求。

这台新电子束光刻机的预期制造尺度为0.3皮米,只有这台机器的成功才能制造改进的行星推进器。

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